對于制作LED芯片來說,襯底材料的選用是首要考慮的問題.應該采用哪種合適的襯底,需要根據設備和LED器件的要求進行選擇.三種襯底材料:藍寶石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC).
目前在LED行業中,藍寶石應用較為廣泛,其優點如下:
1.生產技術成熟、器件質量較好 ;
2.穩定性很好,能夠運用在高溫生長過程中;
3.機械強度高,易于處理和清洗.
在工藝過程中,需要對產品的前段工藝進行追溯,那就需要在襯底中進行刻號的動作.華之尊提供的先行者ILS-3NM激光刻號機有如下優勢:
1、有效雕刻面積大,能夠一次性針對多片Wafer進行雕刻,有效的提高生產效率.
2、在幅面范圍內激光束始終垂直于雕刻物體,光斑大小一致,確保在有效雕刻幅面內每一片Wafer字體清晰.
3、領先業界的聚焦鏡配置,是細微字體雕刻的保證.
4、針對細微雕刻進行了優化,速度及功率調節精確到0.1,雕刻字體細小,清晰;并且能夠有效控制雕刻深度,不會引起雕刻過程中或后續工段中Wafer碎裂.
先行者ILS-3NM整機歷經多代改良,性能可靠穩定.以成熟、穩定、人性化設計而享譽行業,為LED行業的最可靠最安全的首選機型,現已在國內外各大襯底、外延、芯片生產企業中廣泛使用并獲得廣大客戶的一致好評